产品描述
UV155C
概 述
产品优点
1高分辨率,100lp/mm时MTF>0.03;
2.TV畸变<0.02%;场曲<0.1mm;
3独特的物像远心光路。
工作原理
DMD(Digital Micromirror Derice)无掩模光刻机的投影物镜镜头简称激光镜头。通过无掩模光刻机用户根据自己的需求设计相应的图形进行光刻加工,无需先制造掩模版,这样可以节省加工时间及成本,有效提高光刻机的生产效率。
产品参数
关键词：
光学元件
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产品描述
UV155C
概 述
产品优点
1高分辨率,100lp/mm时MTF>0.03;
2.TV畸变<0.02%;场曲<0.1mm;
3独特的物像远心光路。
工作原理
DMD(Digital Micromirror Derice)无掩模光刻机的投影物镜镜头简称激光镜头。通过无掩模光刻机用户根据自己的需求设计相应的图形进行光刻加工,无需先制造掩模版,这样可以节省加工时间及成本,有效提高光刻机的生产效率。
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光学元件
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